在选择输送管道的材质时，我们需要考虑其渗透性、耐腐蚀性、吸附性、机械工艺性等特性。

　　1.目前市面上超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料大多选用不锈钢材质。像不锈钢光亮退火管、不锈钢电抛光管等这类材质相较于其他管道的材质，其精密度更高、吸水性弱，且耐腐蚀性强，而且材料成本相对综合，较受欢迎。

　　2.对于易燃易炸或者有毒高纯气体，如甲硅烷（SiH4）、磷化氢（PH3）、砷化氢（AsH3）等高纯气体，我们需要使用双套管通道，将其内外都进行保护。双层设计不仅可以保护内管受到外力撞击，也能将由内管渗漏的气体阻绝于外管里面，防止泄露发生安全事故。而且对于这类气体检测装备必不可少，像压力警报器、检测泄漏器等设备都需要定期检查，避免泄气漏气。

　　3、选择管道管材时必须选用无缝管材。且棺材的造型设计、内外直径尺寸都是需要精确测量的。而且对于材质的磨损缺陷需要及时复查，任何表面不均匀的现象都可能会造成腐蚀性不匀从而造成重大影响。

　　4、特别需要注意的是，所以高纯气体的管路中绝对能使用非金属管线、密封垫片，以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等材质。因为这类气体对于有机聚合物都有较高的渗透率，气体之间的相互渗透将会影响气体的纯度。